离子枪电源

DADIAN IGC系列氩离子枪电源产生高能电场，使得惰性气体离子化并加速到高能状态，撞击固体表面而实现溅射刻蚀。其离子束流可聚焦，广泛应用于清洁表面从而进行表面分析、光电子能谱及溅射蒸镀。常见于表面分子、光电子能谱实验、半导体科研、真空溅射蒸镀等应用中。

输入
115Vac/220Vac±10%，50/60Hz，需在订单中确定
 

输出
分500V、1000V、1500V、2000V四档输出
 
纹波
< 0.05%
 

电压调节率
负载：全负载扰动情况下，最大电压的0.01%
线路：输入电压改变±10%情况下，最大电压的±0.01%
 

直流灯丝
电流：3A，可调
电压：5V（特殊要求需要订制）
纹波：< 0.05%
 

发射电源
180V，最大100mA
纹波：< 0.05%
 

聚焦电源
电压：0～2000V
纹波：< 0.05%
 

温度系数
电压或电流调节：100ppm/℃。可提供高稳定度规格
 

环境温度
操作温度：0℃～50℃
存储温度：-40℃～85℃
 

稳定性
电压、电流调节预热半小时后：100ppm/小时
 

输出电缆
国际标准认证高压BNC电缆和接头
 

外形尺寸
200W：48.3×48.5×13.2cm
 

重量
12～14kg