功率(W):  
电压(KV):
 
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离子枪电源

DADIAN IGC系列氩离子枪电源产生高能电场,使得惰性气体离子化并加速到高能状态,撞击固体表面而实现溅射刻蚀。其离子束流可聚焦,广泛应用于清洁表面从而进行表面分析、光电子能谱及溅射蒸镀。常见于表面分子、光电子能谱实验、半导体科研、真空溅射蒸镀等应用中。

输入
115Vac/220Vac±10%,50/60Hz,需在订单中确定
 

输出
分500V、1000V、1500V、2000V四档输出
 
纹波
< 0.05%
 

电压调节率
负载:全负载扰动情况下,最大电压的0.01%
线路:输入电压改变±10%情况下,最大电压的±0.01%
 

直流灯丝
电流:3A,可调
电压:5V(特殊要求需要订制)
纹波:< 0.05%
 

发射电源
180V,最大100mA
纹波:< 0.05%
 

聚焦电源
电压:0~2000V
纹波:< 0.05%
 

温度系数
电压或电流调节:100ppm/℃。可提供高稳定度规格
 

环境温度
操作温度:0℃~50℃
存储温度:-40℃~85℃
 

稳定性
电压、电流调节预热半小时后:100ppm/小时
 

输出电缆
国际标准认证高压BNC电缆和接头
 

外形尺寸
200W:48.3×48.5×13.2cm
 

重量
12~14kg